神奈川県|MDCOMのエキシマ照射装置

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MDCOMのエキシマ照射装置


VUV真空エキシマランプユニットとして図・5のような構成の装置もあるが、この方式は真空チャンバとエキシマランプ室を合成石英窓により分離され、真空紫外光は、合成石英窓を介して真空チャンバへ導入される構成になっている。
 この方式の欠点は@合成石英ガラスによるエキシマ照度の減衰 A被照射物との距離が長くなることによる照度減衰などがある。
 それに対し、ランプを直接真空チャンバに入れる方式も考えられるが、パッシェンの法則(@式)によりランプのアノード電極とチャンバ間でグロー放電が発生し、エキシマランプの失灯が起こる。
     Vs= f( pd )                     @式
Vs:放電電圧 p:圧力 d:放電ギャプ
 対策として電極の真空シール、耐絶縁が必要であり、構造が複雑になり、高コストになる。
 弊社の装置は、合成石英窓を必要としないため、透過や反射損失の少ない高効率、高照度のユニットである。また、合成石英ガラス使用することは、装置を大面積するにはガラスの強度の点からの問題もある。これに対して弊社の装置は合成石英ガラス使用しないためこの様な問題がなく、ランプを長くすることと、本数を増やすことにより容易に大面積に対応することができる。